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        電子級磷酸產品從依賴進口到自主國產

        發布時間:2021年01月15日 10:54 來源:湖北日報

          企校研攜手攻關芯片制造中的關鍵濕電子化學品

          電子級磷酸產品從依賴進口到自主國產

          湖北日報訊 (記者龔雪)1月13日,湖北興發化工集團(以下簡稱興發集團)宜昌新材料產業園區一間100級無塵室內,工作人員正在對超高純電子級磷酸試劑樣品,進行最后的質量檢測。記者了解到,該企業與武漢工程大學、中科院等攜手攻關,在解決芯片制造過程中濕化學品關鍵“卡脖子”難題進程中,有了重要突破,生產出的系列濕電子化學品,實現了我省磷化工產業由低端工業級、普通食品級向超高純電子級的跨越。

          “一個指甲殼大小的芯片上,可以含有數億個電子元件。芯片制造有數百道工序,需要重復進行光刻、顯影、蝕刻、薄膜等工藝。每一道工序結束后再進行下一道工序之前,都會用到大量的濕電子化學品!迸d發集團副總經理李少平介紹,該項目實施前,我國工業級、食品級磷酸過剩,但超高純電子級磷酸、高選擇性蝕刻液等芯片制作的關鍵材料,完全依賴日本、德國等進口,是制約我國芯片產業發展的主要“卡脖子”技術之一。

          作為全國最大的精細磷化工企業,興發集團在2008年就成立研發團隊瞄準這個難題,經過10多年不懈努力終于取得突破,該集團與武漢工程大學、中科院攜手申報的《芯片用超高純電子級磷酸及高選擇性蝕刻液生產關鍵技術》項目,榮獲2019年度國家科技進步二等獎。獲獎后,項目成果在興發集團進行產業化轉化,實現磷酸純度從“3個9”到“9個9”級別提升,生產出高純度電子磷酸試劑!拔覀兊漠a品現已占領了80%的國內市場份額,銷往三星電子、臺積電、中芯國際、華虹宏力等知名企業,并與日本、韓國、中國臺灣等地企業競爭國際市場!崩钌倨秸f,該產品的上市也使電子級磷酸進口價格由3150美元/噸下降至1900美元/噸,降幅達39.7%。

          在宜昌新材料產業園區C區一間廠房里,記者看到7、8臺機器裝置正在進行電子級硫酸、硝酸、添加劑等產品智能化混配。興發集團董事長李國璋介紹,在成功掌握電子級磷酸核心技術的基礎上,集團將磷酸產品向下游延伸,進而突破了電子級硫酸、氫氟酸等產品的關鍵技術并能實現產業化。目前園區內,已建成電子級磷酸、電子級硫酸、蝕刻液等3條生產線和若干配套廠房,系列產品銷往半導體、液晶面板等制造企業。李國璋說,集團濕電子化學品產能2020年已達到8萬噸,目前園區正在規劃建設濕電子化學品生產線3期工程,進一步擴大產能,十四五期末力爭超過30萬噸,將為“芯屏端網”產業需要的幾種主要濕電子化學品提供量產保障。

        (編輯:裴春梅)
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